ULVAC爱发科   真空泵  UFW-003

ULVAC爱发科   真空泵  UFW-003



特色

  • 它可以持续排水。 (使用油水分离元件时)

用途

  • 真空干燥与真空冻干设备

  • 真空沉积设备

  • 真空溅射设备

  • 各种CVD设备

  • 化学、制药、医疗和食品设备

  • 真空热处理设备

  • 真空熔炉

  • 离子注入器

注)
在将UFW-003连接到GLD-280时,必须在油滤的进气口侧安装一个油冷却器以降低机油温度。

规格

模型
(元素类型)
UFO-003UFW-003
标准元素油水分离元件
过滤流量(油处理能力)
0.6/0.72L/min
(50/60Hz)
0.6/0.72L/min
(50/60Hz)
水分去除(
最大吸水能力)
300cc连续分离与人工排水
湿度处理精度
低于100ppm。100~200ppm
酸中和(
最大酸中和能力)
0.4mol/1元素0.1mol/1元素
颗粒去除精度
(过滤能力)
0.1微米
功率需求
单相交流100V 25瓦(50/60Hz)单相交流100V 25瓦(50/60Hz)
体重(体重)
约8.4公斤约8.4公斤
最大尺寸(毫米)
246(W)×268(L)×418(H)235(W)×270(L)×418(H)
所需燃料
约1升约1升
压力开关规范
摘要 真空泵容量(参考)
50~200升/分钟按含水量