ULVAC爱发科 真空泵 UFW-003
ULVAC爱发科 真空泵 UFW-003
特色
它可以持续排水。 (使用油水分离元件时)
用途
真空干燥与真空冻干设备
真空沉积设备
真空溅射设备
各种CVD设备
化学、制药、医疗和食品设备
真空热处理设备
真空熔炉
离子注入器
注) | 在将UFW-003连接到GLD-280时,必须在油滤的进气口侧安装一个油冷却器以降低机油温度。 |
规格
模型 (元素类型) | UFO-003 | UFW-003 |
| 标准元素 | 油水分离元件 | |
过滤流量(油处理能力) | 0.6/0.72L/min (50/60Hz) | 0.6/0.72L/min (50/60Hz) |
水分去除( 最大吸水能力) | 300cc | 连续分离与人工排水 |
湿度处理精度 | 低于100ppm。 | 100~200ppm |
酸中和( 最大酸中和能力) | 0.4mol/1元素 | 0.1mol/1元素 |
颗粒去除精度 (过滤能力) | 0.1微米 | - |
功率需求 | 单相交流100V 25瓦(50/60Hz) | 单相交流100V 25瓦(50/60Hz) |
体重(体重) | 约8.4公斤 | 约8.4公斤 |
最大尺寸(毫米) | 246(W)×268(L)×418(H) | 235(W)×270(L)×418(H) |
所需燃料 | 约1升 | 约1升 |
压力开关规范 | - | - |
摘要 真空泵容量(参考) | 50~200升/分钟 | 按含水量 |