ULVAC爱发科   真空泵   VS2401

ULVAC爱发科   真空泵   VS2401

特色

  • 水冷与强制加注系统即使在高负载运行下,气缸的
    油供应也得到满足,排气性能相较于压力差加注系统更稳定。

  • 液压油防吸泵停止
    时,可以抑制油箱回流到进气侧的油流。

  • 专为维护设计
    除了采用大型油位计便于监测机油状况外,还配备了维护盖,用于清洗油箱和更换排气阀。

用途

  • 光学胶片沉积设备

  • 反射沉积设备

  • 装饰沉积设备

  • 胶片绕组和沉积设备

  • 直列溅射设备

  • 烘烤烤箱/热处理炉

  • 冻干设备

  • 泄漏测试设备

  • 太空舱

规格

模型VS1501VS2401
设计排气速度50Hzm/ 小时(L/min)150(2500)240(4000)
60Hz180(3000)288(4800)
达到压力GP关闭≦ 5.3
GP公开赛≦ 80
功率消耗(达到压力时)50Hz千瓦2.32.8
60Hz2.93.6
发动机模型全封闭外部风扇三相感应电机
容量千瓦(波兰)5.5(4)7.5(4)
电压50HzV200~240 / 380~415
60Hz200~240 / 380~460
噪声值※1(达到压力时)50Hz分贝6773
60Hz6773
用油SMR-200
所需燃料L8~10.5
冷却方法水冷
冷却水主侧压力MPaG≦0.5
入口和出口的压力差≧0.1
冷却水体积L/min≧4.0≧5.0
冷却水温度°C5~30
冷却水 Δt≦10
进气法兰VG80 等效设备
排气法兰VG50等效车型
质量KG232271
尺寸 W×D×H300×941×460333×1061×460
海外安全标准
注:本文档采用国际单位制(SI)系统。
*1 这是基于ISO2151测量和计算的平均声压级。