ULVAC爱发科 真空泵 VS300A-W
ULVAC爱发科 真空泵 VS300A-W
特色
其同级中占地
最小□紧凑设计，排径为874×404毫米。机械助力泵（MBP）可以直接安装。
MBP安装套件使得无需安装架即可安装MBP。油雾分离器内置
油回收机制也内置其中。
结构中油不易泄漏到外部。油封和密封轴承的两个阶段防止油泄漏到外部。配备
原厂IE3高效多电压电机，单个电机可承受广泛的电压范围。
用途
光学胶片沉积设备
反射沉积设备
装饰沉积设备
胶片绕组和沉积设备
直列溅射设备
烘烤烤箱/热处理炉
冻干设备
泄漏测试设备
太空舱
规格
| 模型 | VS300A-W | |||
| 设计排气速度 | 50Hz | m3 / 小时（L/min） | 250 (4,166) | |
| 60Hz | 300 (5,000) | |||
| 达到压力*1 | GP关闭 | 爸 | ≦15 | |
| GP公开赛 | ≦200 | |||
| 功率消耗（达到压力时） | 50Hz | 千瓦 | 2.8 | |
| 60Hz | 3.1 | |||
| 发动机 | 模型 | 全封闭外部风扇三相感应电机 | ||
| 容量 | 千瓦（波兰） | 7.5（4） | ||
| 电压 | 50Hz | V | 200~240 / 380~415 | |
| 60Hz | 200~240 / 380~460 | |||
| 噪声值*2（达到压力时） | 50Hz | 分贝 | 70 | |
| 60Hz | 74 | |||
| 用油 | SMR-200 | |||
| 所需燃料 | L | 10~15 | ||
| 冷却方法 | 水冷 | |||
| 冷却水 | 主侧压力 | MPaG | ≦0.3 | |
| 入口和出口的压力差 | ≧0.1 | |||
| 冷却水体积 | L/min | ≧3.0 | ||
| 冷却水温度 | °C | 5~30 | ||
| 冷却水 Δt | ≦25 | |||
| 进气法兰 | DN 63 ISO-F | |||
| 排气法兰 | G2 | |||
| 质量 | KG | 270 | ||
| 尺寸 W×D×H | 嗯 | 404×871×585 | ||
| 海外安全标准 | CE、cTUVus | |||
注：本文档采用国际单位制（SI）系统。
*1 在峰值压力（GP闭合）时发生缓慢泄漏。 当慢漏阀关闭时≦电压变为8Pa。
*2 这是基于ISO2151测量和计算的平均声压水平。