ULVAC爱发科 真空泵 LR421
ULVAC爱发科 真空泵 LR421
特色
低温区均质化（模型：LR）
除了PVD工艺外，它也非常适合制备和外带室的排气，尤其是在减少排气时间以提高通量的场合。由于采用氦气密封罐
装发动机密封结构，其安全性极高。在1000毫秒内实施瞬时停止措施
。优异的耐腐蚀性 主要部件采用了具有高表面硬度和优异耐腐蚀性的
特殊表面处理作为标准。 在排走腐蚀性气体时减少泵内腐蚀。通信功能
：可读取泵运行状态数据、警告/警报历史。 通过专用软件和计算机通信实现集中监控。
用途
沉积设备（溅射设备/沉积设备等）
减少准备和提取室内的排气时间
作为辅助排气泵（涡轮分子泵的辅助排气，机械助力泵）
规格
| 模型 | LR60 | LR90 | LR180 | LR421 | LR421-T | ||
| 最大泵送速度 | 50Hz | m3/h （L/min） | 62 (1030) | 112 (1860) | 183 (3100) | 440 (7333) | |
| 60Hz | m3/h （L/min） | 80 (1333) | 126 (2100) | 237 (3950) | 440 (7333) | ||
| 达到压力 | 5.0 Pa | ||||||
| 最大入口压力（入口压力） | 大气压 | ||||||
| 最大排气压力（排放压力） | 1Pa ~ 大气压 | ||||||
| 进气口（CE规范） | VG50（KF50） | VG80（KF50） | VG100 | ||||
| 排气口 | KF40 | VG50 | |||||
| 质量 | KG | 180 | 245 | 335 | 415 | ||
| 电力 *1 | 三相 | VAC （Hz） | 200 (50/60) , 220 (60) | 180~240 / 380~440（50/60） | |||
| 现值 | 常规时间 | A | 6.9（200伏时） | 11.2（200伏） | 18.9（200伏时） | 20.8（200伏时） | |
| 最大值 | A | 7.3（200伏时） | 11.8（200伏时） | 20.6（200伏时） | 48.5（200伏时） | ||
| 冷却水 暂时压力 | MPa | 0.1~0.3 | 0.2~0.5 | ||||
| 冷却水进出口压力差 | MPa | >0.1 | >0.2 | ||||
| 冷却水流量 | L / min | >5.0 | >4.0 | ||||
| 净化气体 | 初级压力 | MPa | 0.1~0.5 | ||||
| 次级压力 | MPa | 0.05~0.1 | |||||
| N2 清洗行动 | 轴心国 | SLM | 5 | ||||
| 加斯·巴拉 | SLM | 0~45 | 没有 | 0~45 | |||
*1 订购时请注明。
| 模型 | LR300 | LR600 | LR1200 | LR1800 | LR3601 | LR3601-T（TT） | LR3601-R | LR3601-TR（TTR） | ||
| 所用泵 | DRP | LR60 | LR90 | LR90 | LR180 | LR421 | LR421-T | LR421 | LR421-T | |
| MPB | PRC-003A | PRC-006A | PRC-012A | PRC-018A | PRC-036C | PRC-036C（-T） | PRC-036D | PRC-036D（D-T） | ||
| 最大泵送速度 | 50Hz | m3/h （L/min） | 359 （5,980） | 653 （10,900） | 1,012 （16,900） | 1,701 （28,350） | 3,200 (53,333) | |||
| 60Hz | m3/h （L/min） | 365 （6,080） | 701 （11,700） | 1,051米 （17,500） | 1,784 （29,700） | 3,200 (53,333) | ||||
| 达到压力 | 0.67 Pa | |||||||||
| 最大入口压力（入口压力） | 大气压 | |||||||||
| 最大排气压力（排放压力） | 1Pa ~ 大气压 | |||||||||
| 进气口（CE规范） | VG80（KF80） | VG100 （KF100） | VG150 （KF100） | VG150 | ||||||
| 排气口 | KF40 | KF50 | ||||||||
| MBP表面处理 | 〇 *2 | 〇 *2 | 〇 *2 | 〇 *2 | × | T：× TT：× | × | TR：× TTR：〇 | ||
| 质量 | KG | 275 | 370 | 420 | 545 | 660 | 720 | 660 | 720 | |
| 电力 *3 | 三相 | VAC （Hz） | 200 (50/60), 220 (60) | 180~240 / 380~440（50/60） | ||||||
| 现值 | 常规时间 | A | 7.0 （200伏时） | 12.3 （200伏） | 13.7 （200伏） | 21.4 （200伏时） | 31.0（200伏时） 20.5伏（400伏时） | 35.4（200伏时） 20.5伏（400伏时） | ||
| 最大值 | A | 9.6 （200伏时） | 19.0 （200伏时） | 24.2 （200伏） | 39.8 （200伏时） | 58.4（200伏时） 40.5伏（400伏时） | 82.0（200伏）40.5 （400伏） | |||
| 冷却水 暂时压力 | MPa | 0.1~0.3 | 0.2~0.5 | |||||||
| 冷却水进出口压力差 | MPa | >0.1 | 0.1~0.3 | 0.2~0.5 | ||||||
| 冷却水流量 | L / min | >5.0 | >4.0 | |||||||
| 净化气体 | 初级压力 | MPa | 0.1~0.5 | |||||||
| 次级压力 | MPa | 0.05~0.1 | ||||||||
| N2 清洗行动 | 轴心国 | SLM | 5 | |||||||
| 加斯·巴拉 | SLM | 0~45 | 无 *4 | 0~45 | 无 *4 | 0~45 | ||||
*2 LR300、LR600、LR1200和LR1800的MBP可选择是否进行表面处理。
*3 订购时请注明。
*4 根据应用，也可以估算可使用气体棒的规格。
配件
■消音器
| 模型 | 材料 | 表面 处理 | 质量 | 连结法兰 | LR 300 | LR 600 | LR 1200 | LR 1800 | LR 3601 | LR 60 | LR 90 | LR 180 | LR 421 | LR 421-T |
| RS-01 + 套件A | SUS 304 | GBB 处理 | 4.1 公斤 | KF40 | 〇 | - | - | - | - | 〇 | 〇 | - | - | - |
| RS-01 + 套件B | KF40 | - | 〇 | 〇 | - | - | - | - | - | - | - | |||
| RS-02 + 套件A | 8.3 公斤 | KF40 | 〇 | - | - | - | - | - | - | 〇 | - | - | ||
| RS-02 + 套件B | KF40 | - | 〇 | 〇 | 〇 | - | - | - | - | - | - | |||
| RS-03 + 套件A | 抛光板 | 12.5 公斤 | KF50 | - | - | - | - | - | - | - | - | 〇 | 〇 | |
| RS-03 + 套件B | - | - | - | - | 〇 | - | - | - | - | - |