ULVAC爱发科 真空泵 ES10
ULVAC爱发科 真空泵 ES10
特色
助力
节能 干式真空泵的功耗比本公司降低
了高达80%。此外，它还能减少干式泵的热量产生，从而降低空调设备的功率。
*不适用于用于排放易燃、二次可燃、有毒气体等的泵。干泵性能提升
预计提升达到压力性能 可
降低
排气噪音 所有压力区排气速度不
降低 在连续运行时间不超过1000 Pa
的应用中高效 *可安装在干泵中，即使排气口真空也无问题。安装简便
用途
用于排出空气、氮气和氩气等惰性气体的干式真空泵
用于制备和提取室（如溅射）的干式真空泵
规格
| 模型 | ES10 | ES4A | |||
| 电源 | 规格 | 单相交流100V-220V 50/60Hz | 单相交流电200V~220V±5% 50/60Hz | ||
| 用电量 | 65W *1 | 400W | |||
| 控制 | 输入 | 远程启动/停止（触点24伏直流电压） 接点容量：请准备2.0A或以上的无电压接点。 *2 | |||
| 功率输出 | 过电流报警输出（触点：无电压） 接点容量：DC24V 1.0A | 启动检查、节能检查、身体报警、 过流报警 | |||
| 表示 | 显示驾驶时间 | 运行时间、启动确认、节能确认、 主机报警、过流报警 | |||
| 尺寸 | 主机组 | 175毫米 x 330毫米 x 240毫米 | 250毫米 x 475毫米 x 373毫米 | ||
| 阀门单元 | Φ66mm x 110mm（NW40）×3 | 这是可选的。 | |||
| 质量 | 车身单位：9.2公斤 阀门单位：800克 | 32公斤 | |||
| 交通连接 | 连接端口 | 安装了G1/4英寸（入口，出口） 连接器 | Φ16mm管式连接器 （建议1.5米或更短） | ||
*1：干泵使用工艺气体，排气0Pam3/s
*2：当ES4A手动启动/停止时，可以通过跳接控制连接器上的PIN来开关
电路保护器。
*3：ES10标配气门单元。
效果示例
ES4A
| 我们的泵类型 | LR1800 | LR3601-R | ||
| 排气速度 *1 | 机械助力泵 | 1784米3/小时（29700 L/min） | 3200米3/小时（53333 L/min） | |
| 干泵 | 237米3/小时（3950 L/min） | 440米3/小时（7333 L/min） | ||
| 平均功耗 *2 *3 | 在最大压力下运行 | 没有 | 6.0千瓦 | 7.8千瓦 |
| 当ES4A被纳入时 | 2.7千瓦 | 3.2千瓦 | ||
| 减排率 | 55 % | 59 % | ||
| 重复排气 *4 | 没有 | 7.2千瓦 | 9.6千瓦 | |
| 当ES4A被纳入时 | 5.7千瓦 | 6.3千瓦 | ||
| 减排率 | 21 % | 34 % | ||
*1 电源频率 60 Hz
*2 密封气体 5SLM
*3 包括 ECO-SHOCK ES4A 的功耗 *4 测量示例：300升腔室重复排气60秒
ES10
| 型号名称 | LR60 | LR90 | LR180 |
| 排气速度*1 | 1300升/分钟 | 2100升/分钟 | 3980升/分钟 |
| 测量功耗*2 | 2.1千瓦 | 3.6千瓦 | 6.6千瓦 |
| 包含ECO-SHOCK时测量的功耗 *3 *4 | 0.7千瓦 | 1.0千瓦 | 1.6千瓦 |
| 功率降低率 | 67% | 72% | 76% |
*1 电源频率60Hz
*2 峰值压力时的功耗为典型值
*3 包括
ECO-SHOCK的功耗*4 密封气体和气体膨胀流量为0Pa·m3/s。 这取决于密封气体和气体桶的流量。