ULVAC爱发科 真空泵 GR60
ULVAC爱发科 真空泵 GR60
特色
可用于重载应用，如反复抽空大气~真空或高压区连续运行
非常适合需要高通量的装载锁房（准备和取出房）的排气
兼容通用感应电机
可选安装防爆电机等特殊电机
采用多电压兼容电机
用途
真空排放的清洁气体，如空气、惰性气体
各种沉积设备的准备和取出室的排气。
一般工业应用，如真空干燥、真空气体置换和真空除泡
真空气体置换，如真空绝缘和气体填充
规格
| 模型 | GR60A | GR90A | GR180A | |||||
| 最大泵送速度 | 50Hz | m3/h（L/min） | 62(1860) | 112(1030) | 183(3100) | |||
| 60Hz | m3/h（L/min） | 80(1333) | 126(2100) | 237(3850) | ||||
| 达到压力 *1 | 爸 | 5.0 | ||||||
| 最大入口压力 | 大气压 | |||||||
| 最大排气压力 | 爸 | 1~大气压 | ||||||
| 进气口 | VG50 | VG80 | ||||||
| 排气口 | NW40 | |||||||
| DRP表面处理 | 〇 | |||||||
| 发动机 | 功率 [千瓦] | 2.2 | 3.7 | 7.5 | ||||
| 电压 [V] | 50Hz | 200~240/380~415 | ||||||
| 60Hz | 200~240/380~460 | |||||||
| 质量 | KG | 128 | 188 | 268 | ||||
| 冷却方法 | 冷却水 一次供水压力 | MPa | 0.1~0.3 | |||||
| 冷却水 进出口压力差 | MPa | >0.1 | ||||||
| 冷却水温度 | °C | 10~30 *2 | ||||||
| 冷却水流量 | L/min | >5.0 | ||||||
| 氮气 | 一次供水压力 | MPa | 0.1~0.5 | |||||
| 次级侧 调节压力 *3 | MPa | 0.05~0.1（运行时） | ||||||
| 轴心国 | SLM | 5.0 *4 | ||||||
*1 极限压力是氮气（轴密封气）为5.0 SLM时的数值。
*2 不要浓缩。
*3 这是调节器需调节压力表的数值。
*4 氮气（轴密封气体）的流量固定为5.0 SLM。
配件
| 模型 | 材料 | 表面处理 | 质量（公斤） | 连结 法兰 | GR60A | GR90A | GR180A | |
| 消音器 | RS-01+ 套件 A | SUS304 | GBB处理 | 4.1 | KF40 | 〇 | 〇 | - |
| RS-02+ 套件 C | SUS304 | GBB处理 | 8.3 | KF40 | - | - | 〇 | |