ULVAC爱发科 真空泵 HR90
ULVAC爱发科 真空泵 HR90
特色
在高温区域，可以以气态排放由均质化
、心血管损伤（CVD）、蚀刻等产生的升华废气物质。
“Model：UR”甚至可能比“Model：HR”更性感。由于密封结构和氦气密封
罐装发动机，极其安全。在1000毫秒内实施瞬时停止措施
。优异的耐腐蚀性 主要部件采用了具有高表面硬度和优异耐腐蚀性的
特殊表面处理作为标准。 在排走腐蚀性气体时减少泵内腐蚀。通信功能
：可读取泵运行状态数据、警告/警报历史。 通过专用软件和计算机通信实现集中监控。
用途
CVD设备
蚀刻设备
灰烬处理设备
ALD、ALH等。
规格
| 模型 | HR60 | HR90 | HR300 | HR600 | HR1200 | ||||
| 所用泵 | DRP | HR60 | HR90 | HR60 | HR90 | HR90 | |||
| MPB | - | - | PRC-003A | PRC-006A | PRC-012A | ||||
| 最大 泵送速度 | 50Hz | m3/h （L/min） | 62(1030) | 112(1860) | 359(5,980) | 653(10,900) | 1,012(16,900) | ||
| 60Hz | m3/h （L/min） | 80(1333) | 126(2100) | 365(6,080) | 701(11,700) | 1,051(17,500) | |||
| 达到压力 | 爸 | 5 | 0.67 | ||||||
| 最大入口压力 （入口压力） | 大气压 *1 | ||||||||
| 最大排气压力 （排放压力） | 爸 | 1~大气压 | |||||||
| 进气口（CE规范） | VG50（KF50） | VG80（KF50） | VG80（KF80） | VG100（KF100） | |||||
| 排气口 | KF40 | ||||||||
| 质量 | KG | 180 | 245 | 275 | 370 | 420 | |||
| 电力 | 三相 | 真空（Hz） | 200(50/60), 220(60) | ||||||
| 现值 | 常规时间 | A | 7.1 （200伏时） | 11.2 （200伏） | 7.8 （200伏时） | 12.9 （200伏） | 15.4 （200伏时） | ||
| 最大值 | A | 7.3 （200伏时） | 11.8 （200伏时） | 8.1 （200伏时） | 13.8 （200伏时） | 18.9 （200伏时） | |||
| 冷却水 暂时压力 | MPa | 0.1~0.3 | |||||||
| 冷却水进出口压力差 | MPa | >0.1 | |||||||
| 冷却水流量 | L/min | >5.0 | |||||||
| 净化气体 | 初级压力 | MPa | 0.1~0.5 | ||||||
| 次级压力 | MPa | 0.05~0.1 | |||||||
| N2 清洗行动 | 轴心国 | SLM | 5 | ||||||
| 加斯·巴拉 | SLM | 0~45 | |||||||
*1 HR300、HR600和HR1200不应在200Pa或更高的入口压力下连续运行。