ULVAC爱发科 真空泵 LS300
ULVAC爱发科 真空泵 LS300
特色
接近大气压的排气速度可达80米3 与传统真空泵相比，泵送时间可缩短约20%。
标配专用消音器还消除了干式真空泵特有的噪音问题。 峰值压力下的噪声水平低于61 dB（A），即使在运行中也无需担心。 (*1)
C规范标配的ECO-SHOCK技术是ULVAC原创的节能技术。 峰值压力下的功耗可降至低于0.6千瓦。 (*2)
“Model：LS”不需要轴密封气体。 在主要使用氮气和空气等废气的清洁工艺中，运行成本可以降低。 (*3)
对于想进一步提升排气速度的用户，我们建议与机械助力泵结合使用。 合计，120~1200米3/h 可达。
(*1) 对于LS120A-C
（*2），对于C规范
（*3），L规范也可以流动净化气体
 |  |
用途
C 规格：清洁工艺（LS***A-C）
特点：低功耗类型，内置生态冲击
应用：用于清洁排气，如空气排气和氮气，溅射/沉积/粘结/负载锁室/TMP辅助等。
L 规格：光过程（LS***A-L）
特点：具表面处理和净化功能的
光工艺类型 应用：适用于水蒸气和挥发性化学液体蒸发、真空干燥、冻结干燥、灰化、一般工业应用等光工艺。
规格
| 模型 | （C：C 规范）（ | LS120A | LS300A | LS600A | LS1200A | |||||
| C | L | C | L | C | L | C | L | |||
| 最大泵送速度 | m3/h | 120 | 380 | 600 | 1000 | |||||
| 达到压力 | 爸 | ≦0.6 | ≦0.1 | |||||||
| 电源压力 | 200V级：三相，50/60Hz，交流200-240V或400V级：三相，50/60Hz，交流380-480V | |||||||||
| 功耗大纲 *1 | 千瓦 | 0.6 | 2.0 | 1.0 | 2.5 | 1.3 | 2.6 | 1.3 | 2.7 | |
| 冷却水体积 | L/min | > 2.0 | > 4.0 | |||||||
| 驳船气体体积 *2 | SLM | ー | 0~50 | ー | 0~50 | ー | 0~50 | ー | 0~50 | |
| 最大水蒸气处理能力 *3 | 公斤/小时 | ー | 1.5 | ー | 1.5 | ー | 1.5 | ー | 1.5 | |
| 噪声值 | dB（A） | 61 | 61 | 62 | 64 | |||||
| 进气口 | KF（水平）/ VG50（垂直） | ISO-F-50 | ISO-F-80 | ISO-F-100 | ||||||
| 排气口 | KF40 | |||||||||
| 质量 | KG | 142 | 220 | 242 | 266 | |||||
| 贴合规格 | CE、cTUVus | |||||||||
| 标准配件 | 说明书（CD-R）、电源连接器、防水电缆夹、信号连接器、电源连接器护罩 | |||||||||
| 车身选项 | 电压规格：200V级或400V级，密封材料：全氟弹性体（仅L型） | |||||||||
| 外部选项 | MBP空气进气转换法兰、外壳排气口、抗震紧固件、LR兼容单元（进气口、信号）、净化气体阀 | |||||||||
*1 在峰值压力下
*2 C规范不能流动驳船气体。
*3 这是使用驳船气体时处理的最大水蒸气量。
*4 C 规范并非防泄漏。