ULVAC爱发科 真空泵 MS1200A
ULVAC爱发科 真空泵 MS1200A
特色
通过对转子轴和汽缸等主要部件施加特殊表面处理，实现了高耐腐蚀性。
ULVAC独特的螺旋式转子轴设计实现了高粉末排放效率。
从大气压到达到压力的整个压力范围内，均可实现连续运行。
用途
用于电子元件和半导体制造设备、
蚀刻设备、灰烬设备、等离子体清洗设备等的真空排气系统。真空热处理炉
的真空排气系统、烧结炉、渗碳炉等。锂电池制造设备、
电极干燥设备、消泡设备、液体注入设备等的真空排气系统。用于医疗和食品相关设备的真空排气系统，冻
干设备、真空干燥设备等。
*MS1200A准备了一份包含额外控制板和传感器的独立规范。 请联系我们。
规格
| 模型 | MS120A | MS600A | MS1200A | |
| 最大排气转速 *1 | m3/h | 115 | 560 | 980 |
| 达到压力 | 爸 | ≦0.6 | ≦0.1 | |
| 供电电压 | 三相，50/60Hz，交流电200-240V±10%或三相，50/60Hz，交流380-480V±10% | |||
| 近似功耗 *2 | 千瓦 | 2.4 | 3.1 | 3.1 |
| 冷却水体积 | L/min | >4.0 | ||
| 净化气体体积 *1 | SLM | 0~50 | ||
| 最大水蒸气通量 *1*3 | 公斤/小时 | 1.5 | ||
| 噪声值 *2 | dB（A） | 61 | 62 | 64 |
| 进气口 | KF50（水平）/ VG50（垂直） | ISO-F-80 | ISO-F-100 | |
| 排气口 | KF40 | |||
| 质量*4 | KG | 139 | 241 | 264 |
| 贴合规格 | CE、cTUVus | |||
| 标准配件 | 快速说明书，电源连接器，防水线夹，信号连接器，电源连接器保护罩，1个专用消音器 | |||
| 车身选项 | 电源电压：200V级或400V级 密封材料：氟橡胶（FKM）或全氟弹性体（FFKM） | |||
| 外部选项 | 外壳排气口、抗震装置、兼容LR单元（进气口、信号）、净化气体阀 | |||
*1：典型值
*2：达到压力时
*3：这是使用净化气体时处理的最大水蒸气量。
*4：包括消音器