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ULVAC爱发科 电源 COVOT-CR4
ULVAC爱发科 电源 COVOT-CR4ULVAC爱发科 电源 COVOT-CR4特色根据行程、转弯半径和需运输的板块数量，提供了多种臂型。COVOT-CR4 还提供高真空，10-6 Pa，这得益于其磁性流体密封。规格模型COVOT-6-X5COVOT-CR4工作压力范围大气压 ~10-1Pa大气压 ~10-6Pa晶圆尺寸200…
2026-04-21 -
ULVAC爱发科 电源 COVOT-6-X5
ULVAC爱发科 电源 COVOT-6-X5ULVAC爱发科 电源 COVOT-6-X5特色根据行程、转弯半径和需运输的板块数量，提供了多种臂型。COVOT-CR4 还提供高真空，10-6 Pa，这得益于其磁性流体密封。规格模型COVOT-6-X5COVOT-CR4工作压力范围大气压 ~10-1Pa大气压 ~10-6Pa晶圆尺寸2…
2026-04-21 -
ULVAC爱发科 电源 EXO-13
ULVAC爱发科 电源 EXO-13ULVAC爱发科 电源 EXO-13特色它能够同步最多四个射频电源的相位。通过消除相位移函数实现了低成本。规格模型EXO-13输入规范输入电压单相AC100V输入容量1VA或更低输出规范振荡频率13.56MHz0.05%外部尺寸（WDH）无突出物14511044（毫米）
2026-04-21 -
ULVAC爱发科 电源 PHS-04N
ULVAC爱发科 电源 PHS-04NULVAC爱发科 电源 PHS-04N特色可以控制多个射频电源的相位。相位偏移特性可根据阴极间的差异进行调整，提供稳定且低变性的过程。规格模型PHS-04NPHS-08N输入规范输入电压单相交流100V-240V输入容量低于70VA输出规范输出通道数量48振荡频率…
2026-04-21 -
ULVAC爱发科 电源 RFS-1350N
ULVAC爱发科 电源 RFS-1350NULVAC爱发科 电源 RFS-1350N特色通过安装高功率转换效率的射频电路实现节能高速自动匹配与高速算法内置射频电源自动匹配功能可支持外部模拟控制，串行通信控制极高的可靠性是基于多年设备制造商积累的专业知识设计实现的。规格射频功率模…
2026-04-21 -
ULVAC爱发科 电源 RFS-1330N
ULVAC爱发科 电源 RFS-1330NULVAC爱发科 电源 RFS-1330N特色通过安装高功率转换效率的射频电路实现节能高速自动匹配与高速算法内置射频电源自动匹配功能可支持外部模拟控制，串行通信控制极高的可靠性是基于多年设备制造商积累的专业知识设计实现的。规格射频功率模…
2026-04-21 -
ULVAC爱发科 电源 RFS-1310N
ULVAC爱发科 电源 RFS-1310NULVAC爱发科 电源 RFS-1310N特色通过安装高功率转换效率的射频电路实现节能高速自动匹配与高速算法内置射频电源自动匹配功能可支持外部模拟控制，串行通信控制极高的可靠性是基于多年设备制造商积累的专业知识设计实现的。规格射频功率模…
2026-04-21 -
ULVAC爱发科 电源 RFS-1305N
ULVAC爱发科 电源 RFS-1305NULVAC爱发科 电源 RFS-1305N特色通过安装高功率转换效率的射频电路实现节能高速自动匹配与高速算法内置射频电源自动匹配功能可支持外部模拟控制，串行通信控制极高的可靠性是基于多年设备制造商积累的专业知识设计实现的。规格射频功率模…
2026-04-21 -
ULVAC爱发科 电源 RMG-1303
ULVAC爱发科 电源 RMG-1303ULVAC爱发科 电源 RMG-1303特色可从1瓦的低功率控制标配500Hz~100kHz脉冲射频输出能力标准的外部同步终端宽范围的单相100V~220V / 50Hz~60Hz输入200毫米200毫米350毫米/10公斤小型轻量电源CE、KC、半F47、半S2、RoHS规格模型RMG-1303动力…
2026-04-21 -
ULVAC爱发科 电源 MFU-20K
ULVAC爱发科 电源 MFU-20KULVAC爱发科 电源 MFU-20K特色可能在10kHz~100kHz *1范围内最多可并联运行6台机组结合我们的直流电源，可以轻松实现双阴极放电系统。*1：振荡频率超过60 kHz限制输出功率、电压和电流。规格模型MFU-20K控制电源输入输入电压单相交流电100-…
2026-04-21